器件教学套件和工艺教学套件为用户提供了一个学习7nm工业级“数据”的机会,而在当前高校教育中,还有一个问题,就是需要学生熟悉真实的工业“场景”,场景+数据的模式,让同学能够“知其然,知其所以然”,为此,我们建立了一个7nm集成电路虚拟现实(VR)实验室,重现真实的工业“场景”
该套件包含如下内容
1.工业级先进集成电路制造设备:如300毫米(12英寸)半自动探针台、EUV光刻机等。
2.工业级先进设备使用过程模拟:包括装晶圆、扎探针、工艺线操作、封装线操作等操作过程。
3.先进工艺线全流程模拟:学生犹如置身于一个真实的工艺线中。
4.先进封装线全流程模拟:学生犹如置身于一个真实的快封线中。
5.先进测试线全流程模拟:学生犹如置身于一个真实的测试线中。